e-Xplorer面形测量系统用于精密检测硅片表面面形,适用于硅片研发阶段面形的精确检测,有助于提高生产工艺,降低生产成本。
e-Xplorer拥有纳米级的检测精度,可以检测到微小的面形缺陷和平面度。
系统检测有效口径 6英寸。