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产品名称:e-Xplorer
产品类别:硅片面形检测系统
 
产品详细:

 

 

e-Xplorer面形测量系统用于精密检测硅片表面面形,适用于硅片研发阶段面形的精确检测,有助于提高生产工艺,降低生产成本。

 

e-Xplorer拥有纳米级的检测精度,可以检测到微小的面形缺陷和平面度。


系统检测有效口径   6英寸。

 

 

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