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产品名称:MEMS 变形镜
产品类别:MEMS 变形镜
 
产品详细:
       
 
随着微制造技术的发展,用微制造技术制作的新型微变形镜大大提高了驱动单元的集成度,简化了电源,提高了可靠性,降低了自适应光学系统的体积和成本。

MEMS变形镜可用于大气湍流校正、激光波前校正、人眼波前相差校正、激光脉冲整形等领域。

 

 

 

Mini-DM

驱动单元阵列

6 x 6 (四个角落驱动器处于非活动状态)

驱动单元 最大变形量

1.5µm

3.5µm

5.5µm

有效面积

1.5 x 1.5 mm

2.0 x 2.0 mm

2.25 x 2.25 mm

驱动单元中心距

300µm

400µm

450µm

镀膜

金膜或铝膜 可选

驱动单元平均步进精度

<1nm

滞后现象

填充率

>99%

机械响应时间

20µs

100µs

500µs

表面质量

<20nm (RMS)

驱动器指标

 

最大帧频

8kHz (34kHz bursts)

分辨率

14 Bit

接口

USB 2.0

尺寸

4.0" x 5.25" x 1.25" (102 mm x 133 mm x 32 mm)

 

 

 

 

Multi-DM

驱动单元阵列

12 x 12 (四个角落驱动器处于非活动状态)

驱动单元 最大变形量

1.5µm

3.5µm

5.5µm

有效面积

3.3 x 3.3 mm

4.4 x 4.4 mm

4 95x 4.95 mm

驱动单元中心距

300µm

400µm

450µm

镀膜

金膜或铝膜 可选

驱动单元平均步进精度

<1nm

滞后现象

填充率

>99%, 98% (SLM)

机械响应时间

<20µs

<100µs

<500µs

表面质量

<20nm (RMS)

驱动器指标

 

最大帧频

8kHz (34kHz bursts)

分辨率

14 Bit

接口

USB 2.0

尺寸

9.0" x 7.0" x 2.5" (229 mm x 178 mm x 64 mm)

 

 
 

 

Kilo-DM

驱动单元阵列

32 x 32 (四个角落驱动器处于非活动状态)

驱动单元 最大变形量

1.5µm

有效面积

9.3 x 9.3 mm

驱动单元中心距

300µm

镀膜

金膜或铝膜 可选

驱动单元平均步进精度

<1nm

滞后现象

填充率

>99%, 98% (SLM)

机械响应时间

<20µs

表面质量

<20nm (RMS)

驱动器指标

 

最大帧频

34kHz / 60kHz (Low Latency)

分辨率

14 Bit

接口

PCI Card

尺寸

19.0" x 18.5" x 5.25" (483 mm x 470 mm x 133 mm)

 

 
 

 

4K-DM

驱动单元阵列

64 x 64 (四个角落驱动器处于非活动状态)

驱动单元 最大变形量

3.5µm

有效面积

25.0 x 25.0 mm

驱动单元中心距

400µm

镀膜

金膜或铝膜 可选

驱动单元平均步进精度

<1nm

滞后现象

填充率

>99.5%

机械响应时间

<100µs

表面质量

<20nm (RMS)

驱动器指标

 

最大帧频

20kHz

分辨率

14 Bit

接口

PCI Card

尺寸

19.0" x 14.0" x 5.25" (483 mm x 356 mm x 133 mm)

 

 

 

 

 

 

线性排列变形镜

驱动单元阵列

1 x 140

驱动单元 最大变形量

3.5µm

有效面积

1.2 x 41.7 mm 

(continuous)

1.5 x 42mm 

(segmented)

驱动单元中心距

300µm

镀膜

金膜或铝膜 可选

驱动单元平均步进精度

<1nm

滞后现象

填充率

>99%

98%

表面质量

13nm RMS (continuous)

30nm RMS (segmented)

驱动器指标

 

最大帧频

8kHz (34kHz burst)

分辨率

14 Bit

接口

USB

尺寸

9" x 7" x 2.5" (22.8 mm x 17.8 mm x 6.35 mm)

 

 

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