有效口径 |
30mm~200mm |
驱动单元数 |
31~63 |
变形量 |
±30µm PV mechanical for defocus (60m curvature radius) |
Tilt-tilt 能力 |
±0.2 mrad |
滞后效应 |
<5% |
第一共振频率 |
>1.5 kHz |
移出静态相差后 面型质量 |
<10nm rms (mechanical) λ/30 rms (wavefront quality @λ=600nm) |
光学表面粗糙度 |
<1 nm rms |
镀膜 |
电介质膜或金属膜可选 |
真空下使用 |
适用于真空环境 |
镜面可更换 |
可更换 |