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有效口径 |
30mm~200mm |
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驱动单元数 |
31~63 |
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变形量 |
±30µm PV mechanical for defocus (60m curvature radius) |
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Tilt-tilt 能力 |
±0.2 mrad |
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滞后效应 |
<5% |
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第一共振频率 |
>1.5 kHz |
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移出静态相差后 面型质量 |
<10nm rms (mechanical) λ/30 rms (wavefront quality @λ=600nm) |
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光学表面粗糙度 |
<1 nm rms |
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镀膜 |
电介质膜或金属膜可选 |
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真空下使用 |
适用于真空环境 |
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镜面可更换 |
可更换 |