压电阵列变形镜 采用PZT阵列技术,变形量可达80µm,口径可达2.6m。
适用于大型/超大型天文望远镜的大气湍流校正。
有效口径 |
50mm~2.6m |
驱动单元数 |
52~7217 |
驱动单元间隔 |
3.5mm~>10mm |
变形量 |
5~80µm PV |
滞后效应 |
~5% |
第一共振频率 |
10kHz~20kHz |
面型质量(移出静态相差后) |
<10nm rms (mechanical) λ/30 rms (wavefront quality @λ=600nm) |
光学表面粗糙度 |
<1 nm rms |
镀膜 |
电介质膜或金属膜可选 |
真空下使用 |
适用于真空环境 |