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SHARPeRTM 面形检测平台
源于“欧洲之星”应用研究开发项目，用于检测米级超精密镜面光学质量。
如：• 同步辐射加速装置中，X射线成像与压弯聚焦镜的面形精度与像差分析；
• 大型天文望远镜所用抛面镜, 平面镜的面形精度与像差分析等。
特点：
• 镜面斜率测量精度: <50 nrad
• 镜面曲率测量范围: -1.2m ~ +1.2m
• 空间分辨率: 1.2mm
• 最大检测尺寸: 1.5m (可定制2m～3m）
• 可水平或垂直检测
• 可设定横向纵向检测范围
• 可旋转和倾斜检测
• 可测得二维斜率图和等高图
性能指标：
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SHARPeR |
Technical specifications |
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Mirror slope accuracy on X and Y (rms) |
< 50 nrad* |
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Mirror radius |
-1.2 m to 1.2 m |
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Spatial resolution |
1.2 mm |
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Maximum mirror slope |
±4 mrad |
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Mirror orientation |
Horizontal and vertical |
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Mirror surface |
With and without coating |
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Maximum mirror length |
≤ 1.5 m |
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Transverse axis length |
custom |
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Rotation |
> 180 |
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Tip-tilt |
± 5° |
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Gantry dimension / weight |
~ 2. 6 m x 1.1 m x 1.7 m/ 5500 kg |
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Power consumption |
< 3 W** |
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Acquisition time |
20 min/ 250mm*** |
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* under a stabilized temperature better than 0.1°C /hour, ** including gantry, *** for 5 images/sec |
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