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产品名称:高精度大尺寸面形检测平台
产品类别:激光/光学测量仪器
 
产品详细:

SHARPeRTM 面形检测平台

源于“欧洲之星”应用研究开发项目,用于检测米级超精密镜面光学质量。

如:• 同步辐射加速装置中,X射线成像与压弯聚焦镜的面形精度与像差分析;

      • 大型天文望远镜所用抛面镜, 平面镜的面形精度与像差分析等。

特点:

      • 镜面斜率测量精度: <50 nrad

      • 镜面曲率测量范围: -1.2m ~ +1.2m

      • 空间分辨率: 1.2mm

      • 最大检测尺寸: 1.5m (可定制2m~3m)

      • 可水平或垂直检测

      • 可设定横向纵向检测范围

      • 可旋转和倾斜检测

      • 可测得二维斜率图和等高图

性能指标:

SHARPeR 

Technical specifications 

Mirror slope accuracy on X and Y (rms) 

< 50 nrad* 

Mirror radius 

-1.2 m to 1.2 m 

Spatial resolution 

1.2 mm 

Maximum mirror slope 

±4 mrad 

Mirror orientation 

Horizontal and vertical 

Mirror surface 

With and without coating 

Maximum mirror length 

≤ 1.5 m 

Transverse axis length 

custom 

Rotation 

> 180 

Tip-tilt 

± 5° 

Gantry dimension / weight 

~ 2. 6 m x 1.1 m x 1.7 m/ 5500 kg 

Power consumption 

< 3 W** 

Acquisition time 

20 min/ 250mm*** 

* under a stabilized temperature better than 0.1°C /hour, ** including gantry, *** for 5 images/sec 

 


 

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